Camera ablaţie pentru ablaţia în regim pulsatoriu (PLD)
Camera ablaţie pentru ablaţia în regim pulsatoriu (PLD)
Aceasta reprezintă o incintă din otel inoxidabil special care serveşte drept reactor pentru creşterea de straturi mono-atomice, ultra-subţiri, subţiri, groase precum si multistraturi prin ablaţia laser în regim pulsatoriu a unor ţinte din materiale oxidice, superconductoare, magnetice sau metalice.
Caracteristici şi componente: două ferestre acces fascicol laser aşezate simetric de o parte şi alta a camerei; sistem antecamera transfer proba/ţinta Load Lock; fereastră de acces fascicol tun RHEED; ecran de fosfor pentru vizualizare semnal RHEED; sistem monitorizare depunere cu dispozitiv Quartz Crystal; sistem carusel pentru patru ţinte de ablaţie, fiecare cu diametru de 5” şi setate sub un unghi de 45 grade faţă de fascicolul laser; manipulator pentru probe de până la 2”; sistem de încălzire proba până la temperatura de 1000oC; sistem de admisie gaze de reacţie ; sistem de vidare format din pompa vid preliminar (300 l/s), pompa Leybold turbomoleculara pentru vid ultra-înalt (10-10 torr); sistem complet automatizat şi asistat prin computer.